用于成膜設(shè)備工藝中壓力監(jiān)控隔膜真空計

用于成膜設(shè)備工藝中壓力監(jiān)控隔膜真空計

• 傳感器部由陶瓷一體構(gòu)造，具備優(yōu)秀的再現(xiàn)性、穩(wěn)定性，在低·中真空領(lǐng)域不受氣體的種類影響(可以測量絕對壓力)，能夠高精度地測量。
• 長期穩(wěn)定，使用陶瓷膜，具有優(yōu)異的耐腐蝕性。
• 內(nèi)置式溫度補(bǔ)償回路。
• 采用新結(jié)構(gòu)保護(hù)傳感器免受污垢。
• 可以通過按鈕進(jìn)行零點(diǎn)調(diào)整。
• 適用于成膜設(shè)備工藝中的壓力監(jiān)控、真空溶解、真空熱處理爐等真空排氣系統(tǒng)的壓力監(jiān)控，以及太陽能電池等各種制造設(shè)備的壓力監(jiān)控。

• 傳感器部由陶瓷一體構(gòu)造，具備優(yōu)秀的再現(xiàn)性、穩(wěn)定性，在低·中真空領(lǐng)域不受氣體的種類影響(可以測量絕對壓力)，能夠高精度地測量。
• 長期穩(wěn)定，使用陶瓷膜，具有優(yōu)異的耐腐蝕性。
• 內(nèi)置式溫度補(bǔ)償回路。
• 采用新結(jié)構(gòu)保護(hù)傳感器免受污垢。
• 可以通過按鈕進(jìn)行零點(diǎn)調(diào)整。
• 適用于成膜設(shè)備工藝中的壓力監(jiān)控、真空溶解、真空熱處理爐等真空排氣系統(tǒng)的壓力監(jiān)控，以及太陽能電池等各種制造設(shè)備的壓力監(jiān)控。

• 傳感器部由陶瓷一體構(gòu)造，具備優(yōu)秀的再現(xiàn)性、穩(wěn)定性，在低·中真空領(lǐng)域不受氣體的種類影響(可以測量絕對壓力)，能夠高精度地測量。
• 長期穩(wěn)定，使用陶瓷膜，具有優(yōu)異的耐腐蝕性。
• 內(nèi)置式溫度補(bǔ)償回路。
• 采用新結(jié)構(gòu)保護(hù)傳感器免受污垢。
• 可以通過按鈕進(jìn)行零點(diǎn)調(diào)整。
• 適用于成膜設(shè)備工藝中的壓力監(jiān)控、真空溶解、真空熱處理爐等真空排氣系統(tǒng)的壓力監(jiān)控，以及太陽能電池等各種制造設(shè)備的壓力監(jiān)控

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