日本motoyama薄膜晶體生產(chǎn)設備LPE爐

產(chǎn)品名稱: 日本motoyama薄膜晶體生產(chǎn)設備LPE爐

產(chǎn)品型號:

產(chǎn)品特點: 日本motoyama薄膜晶體生產(chǎn)設備LPE爐
這是一種LPE（液體，相位，外延）薄膜晶體制造設備，擁有100多項日本交付記錄。它由高精度立式管式爐，旋轉升降驅(qū)動軸和具有*溫度調(diào)節(jié)精度的控制單元組成，可實現(xiàn)高效的薄膜晶體生產(chǎn)。

日本motoyama薄膜晶體生產(chǎn)設備LPE爐 的詳細介紹

日本motoyama薄膜晶體生產(chǎn)設備LPE爐

■設備概述
這是一種LPE（液體，相位，外延）薄膜晶體制造設備，擁有100多項日本交付記錄。它由高精度立式管式爐，旋轉升降驅(qū)動軸和具有*溫度調(diào)節(jié)精度的控制單元組成，可實現(xiàn)高效的薄膜晶體生產(chǎn)。
薄膜晶體生產(chǎn)
●特長
○優(yōu)異的浸泡特性
○高精度樣品軸旋轉升降驅(qū)動機構
○可以添加到現(xiàn)有的熔爐中（有限制）
●選項
○惰性氣體導入機構
○電信號潤濕接點
○排氣罩
‥
○根據(jù)實際制造過程進行計算機自動操作控制（也可以中斷手動操作）
通過事先輸入過程詳細信息，目的地，移動速度，旋轉狀態(tài)和旋轉速度將自動以值執(zhí)行。

日本motoyama薄膜晶體生產(chǎn)設備LPE爐

LPE　薄膜結晶製造裝置　仕様
ヒータ容量	単相　200V　2.3kW×3ゾーン
加熱室寸法　徑×高さ　mm	φ280×H650　mm
常用溫度	800℃～900℃
gao溫度	1200℃
溫度分布	±2℃　(空爐安定時　φ100×H200mmの空間　at850℃）
溫度変動幅	±0.2℃　(空爐安定時　φ100×H200mmの空間　at850℃）
発熱體	SSSヒータ
爐心管	φ220×φ205×L800mm

LPE爐　駆動部(試料軸)　仕様
昇降速度	20～300mm/min
停止精度	±1mm以內(nèi)
回転方法	正転/逆転
回転速度	20～300rpm　(ソフトスタート付)
回転數(shù)変動精度	±1%FS以內(nèi)