超小型的濺射裝置涂布機用于制備導電薄膜
超小型的濺射裝置涂布機用于制備導電薄膜
參數(shù) | 詳情 |
---|---|
陰極 | φ2英寸DC磁控管/2極對向電極 |
靶材 | Au靶材附屬 |
膜厚設定方式 | 預設方式/帶膜厚監(jiān)視器的數(shù)字顯示 |
氣體導入機制 | 針閥 |
真空泵 | 直聯(lián)式回轉真空泵:20l/min(帶自動逆流防止閥) |
排氣操作 | 自動 |
真空腔尺寸 | 內徑φ120mm×D120mm(SUS制) |
樣品交換方法 | 前門開閉式 |
尺寸(寬/深/高) | 主體:225/420/320mm;RP:300/160/200mm |
重量 | 主體:15kg;RP:9kg |
參數(shù) | 詳情 |
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陰極 | φ2英寸DC磁控管/2極對向電極 |
靶材 | Au靶材附屬 |
膜厚設定方式 | 預設方式/帶膜厚監(jiān)視器的數(shù)字顯示 |
氣體導入機制 | 針閥 |
真空泵 | 直聯(lián)式回轉真空泵:20l/min(帶自動逆流防止閥) |
排氣操作 | 自動 |
真空腔尺寸 | 內徑φ120mm×D120mm(SUS制) |
樣品交換方法 | 前門開閉式 |
尺寸(寬/深/高) | 主體:225/420/320mm;RP:300/160/200mm |
重量 | 主體:15kg;RP:9kg |
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