高耐腐蝕性石英玻璃制熱式微小液體流量計?
高耐腐蝕性石英玻璃制熱式微小液體流量計

1. 測量性能
• 量程：0.1 – 10 mL/min（最小可穩(wěn)定讀出 0.1 mL/min）
• 精度：±5 % RD（15 – 35 °C 范圍內(nèi)）
• 原理：MEMS 熱式 —— 芯片加熱器散熱量隨流量變化，外側(cè)兩枚溫度傳感器計算溫差→直接換算成流量，響應(yīng) < 1 s。
2. 高耐腐蝕結(jié)構(gòu)
• 接液部：高純度石英玻璃（流路）+ 含氟樹脂（接頭）；傳感器元觸液體，可耐受酸、堿、有機(jī)溶劑、電解液等強(qiáng)腐蝕性介質(zhì) 。
• 防護(hù)：整機(jī) IP65，表面無金屬裸露，可在液體飛沫環(huán)境長期工作。
3. 直線流路設(shè)計
• 無旁通、無旋轉(zhuǎn)部件 → 死體積 < 30 µL，氣泡易通過，不易積液；CIP/SIP 友好，壓力損失 < 5 kPa（10 mL/min 水）。
4. 輸出與接口
• 瞬時 + 累計流量同時顯示；
• 模擬 4-20 mA / 0-5 V + 脈沖 + RS-485 Modbus-RTU；
• 事件功能：空管、氣泡混入、脈動超限實時報警。
5. 安裝方式
• 機(jī)身 80 g，單手持握；附帶支架，可水平/垂直配管，無需額外放大器。
• 電源 12-24 V DC，功耗 < 0.5 W，可直接嵌入半導(dǎo)體濕法、醫(yī)藥微反應(yīng)器、電池電解液注液等機(jī)臺。
6. 典型應(yīng)用
• 半導(dǎo)體/面板：HF、H?SO? 等強(qiáng)酸清洗液微量補(bǔ)給
• 醫(yī)藥微反應(yīng)器：API 合成中 0.5-5 mL/min 催化劑進(jìn)料
• 電池工廠：電解液注液頭流量監(jiān)控，替代稱重+時間法，提升數(shù)據(jù)可靠性。